1997年12月，MOCVD实验室正式建成。
	1999年10月13日，为顺利完成国家和广州市的红、橙、黄光LED的合同科研攻关任务，MOCVD实验室和广州经济开放区永和公司成立了广州亮达光电器件公司。
	2000年11月，广州亮达光电器件公司超额完成国家LED科技攻关项目和广州市LED半工业化项目的研究工作。研究成果通过8院士专家的签定，受到包括人民日报、羊城晚报、广州日报和日本、韩国媒体的广泛关注。
	2000年11月底，MOCVD实验室的电致光电器件实验室获批准为省教育厅重点实验室。
	2002年8月底，学校批准把MOCVD实验室更名为光电子材料与技术研究所。
	2004年8月，为推进半导体照明LED的产业化，华南师范大学光电子材料与技术研究所与香港健隆科技集团合作成立筹备“广州市LED工业研究开发基地”的领导小组。
	2004年11月，广州市科技局大力支持“广州市LED工业研究开发基地”科研项目攻关工作。给予该项目2000万元的科研基金资助。
	2006年，光电子材料与技术研究所成为校直管科研机构。
	2007年1月20日，“广州市LED工业研究开发基地”项目合作签约正式仪式在华南师范大学校行政大楼七楼第二会议室举行。
	2007年5月28日，广州市科技局支持的重大产学研项目基地——“广州市LED工业研究开发基地”正式在我校落成。
	2007年11月26日至28日，由中国有色金属学会主办、华南师范大学光电子材料与技术研究所与广州市LED工业研究开发基地共同承办的第十届全国MOCVD会议在广州华泰宾馆隆重召开。
	2007年11月26日下午中科院王启明院士莅临我校广州市LED工业研究开发基地参观指导。
	2007年12月7日上午，半导体材料物理专家秦国刚院士受聘我校双聘院士仪式在我校石牌校区校部七楼第二会议室举行。秦院士任光电子材料与技术研究所学术委员会主任。
	2008年2月20日，广东省科技厅于2月20日公布了《关于签定2007年粤港关键领域重点突破中标项目合同的通知》（粤科函高字〔2008〕125号），我所范广涵教授主持申报的“发光二极管（LED）外延片材料和生长方法”项目获准立项，立项经费为200万元。这是我校首次以第一申报单位获批粤港关键领域重点突破招标项目。
	2008年3月26日，《南方日报》专稿介绍我校LED重大研发成果。
	2009年11月与广州花都区的鸿利光电进行LED产业方面的合作研究。

	原广州市市长林树森同志（左一）到我校MOCVD实验室进行考察工作

      2019年3月半导体科学技术研究院正式成立，是华南师范大学直属重点二级

科研教学单位，李京波教授为首任院长。半科院的前身是华南师范大学“光电子

材料与技术研究所”（简称“材料所”），2002年8月，以刘颂豪院士、范广涵

教授为学科带头人，在原来半导体外延MOCVD实验室的基础上创建成立。经过

多年的实验室建设和全体师生共同努力，半科院已成为华南师范大学国家重点光

学学科、凝聚态物理、半导体器件物理、半导体芯片制备与测试平台、半导体器

件模拟中心等研究方向的重要教学、科研机构。

      华南师范大学半导体科学与技术学院于2021年3月正式发文成立，是学校教

学科研单位。2021年10月，广东省教育厅、佛山市政府、南海区政府和华南师

范大学正式签署四方协议，共建南海校区工学部，重点建设半导体芯片、集成

电路、新一代通信技术、显示、人工智能等学科发展，半导体科学与技术学院

迎来了新的发展契机，2021年学院开始招收了第一届本科生，由李京波教授

担任首任院长，吴岚担任首任学院党总支书记。