OLED450B高真空多源蒸发沉积系统

2021-11-24 10:33:42

      OLED450B高真空多源蒸发沉积系统放置在手套箱内在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物,混合物单层或多层膜。主要用于有机半导体材料物理化学性质研究实验、有机半导体器件的原理研究实验及OLED实验研究。主要包括热蒸发镀膜室、微机型电阻-电离复合真空计、热蒸发源、真空系统、样品沉积转台、控制系统、烘烤照明系统、监测预警报系统等。