光电子材料与器件研发超净室在半导体科学技术研究院一楼，该实验室目前主要有GaN基纳米线器件，紫外LED，OLED，量子点发光，ZnO纳米线期间，钙钛矿太阳能电池等研究方向。超净室实验设备齐全，包含生长设备，观察设备，测试设备，清洗设备等。